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弗萊貝格MDPinline ingot在線硅錠成像設備
對高(gao)通量要求(qiu)的PV工廠中多晶(jing)(jing)和類單晶(jing)(jing)錠進行電學參數測試(shi)表征，在1mm分(fen)辨率下的總(zong)測量時間少(shao)于一分(fen)鐘。
產品特點
檢測符合半導體標準SEMI PV9-1110
對半導體材料電學參數進行非接觸和非破壞性測試
對少子壽命參數可做面掃描測試
對不可見缺陷的可視化測試具有很高靈敏度
對鐵濃度分布做面掃描自動設置硅錠切割標準
對硅錠少子壽命的穩態測試，可硅錠的性能
自動化的集成設計低成本測試
對光伏級別的硅錠進行2D成像掃描測試，
對一(yi)(yi)個(ge)硅(gui)錠，可在一(yi)(yi)分鐘內完成分辨率低于(yu)1mm的成像測(ce)試
產品優勢
MDPinline ingot對(dui)有高通(tong)量要(yao)求PV工(gong)(gong)廠(chang)里的(de)(de)多晶硅錠電學參數，具備在線(xian)測(ce)(ce)試(shi)速度：在1分(fen)鐘(zhong)內可完(wan)成(cheng)(cheng)(cheng)分(fen)辨率(lv)(lv)大于(yu)1mm的(de)(de)成(cheng)(cheng)(cheng)像掃描測(ce)(ce)試(shi)，同時可完(wan)成(cheng)(cheng)(cheng)電導(dao)類型轉變的(de)(de)空間分(fen)布掃描和電阻率(lv)(lv)的(de)(de)線(xian)掃描測(ce)(ce)試(shi)。客戶制定(ding)的(de)(de)硅錠切割標準，可通(tong)過數據中(zhong)心，對(dui)下一代PV工(gong)(gong)廠(chang)的(de)(de)材(cai)料制備進行全(quan)自動監控，完(wan)成(cheng)(cheng)(cheng)對(dui)材(cai)料生長質量控制，坩(gan)堝狀況監控，以及各種(zhong)失效分(fen)析(xi)。通(tong)過的(de)(de)“underneath thesurface”測(ce)(ce)試(shi)技術(shu)，可減少由表面(mian)復(fu)合引起的(de)(de)數據失真情況出(chu)現。
弗萊貝格MDPinline ingot在線硅錠成像設備
MDPinline ingot系統是范圍內的測量工具，可用于對多晶硅和類單晶硅錠進
行電學表征。專為高通量工廠中的單個晶錠測試而開發，每個晶錠都可在1分鐘內完成所有面的電學
參數表征(zheng)測試參數包括1mm分辨(bian)率(lv)的少子壽命(ming)面掃(sao)描(miao)分布(bu)，電導類型分布(bu)圖，以及電阻率(lv)線掃(sao)描(miao)分布(bu)圖。
該系統(tong)包括數據處理，傳(chuan)輸(shu)和存儲，以及評估系統(tong)。提(ti)供全自動(dong)的硅錠切割位置，用于產能(neng)，材料質量(liang)監控，坩堝選擇和工藝(yi)優化等。
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