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該加速(su)度計基于電(dian)容式MEMS技術，可在0Hz以(yi)下的(de)低頻響應中(zhong)使用。在傳感(gan)器元件內部，地震(zhen)質量與兩個導(dao)電(dian)電(dian)容板(ban)連接。如果地震(zhen)質量在兩個電(dian)容板(ban)之間振蕩，電(dian)容就(jiu)會發(fa)生變化。這(zhe)種電(dian)容變化通過ASIC(應用特定的(de)集成(cheng)電(dian)路)轉換成(cheng)模擬信號。
電容式MEMS技術
該加速度計基于電(dian)(dian)(dian)(dian)容(rong)式MEMS技術，可在(zai)0Hz以下的低頻響應(ying)中使(shi)用。在(zai)傳感器元件內(nei)部，地震質(zhi)(zhi)量(liang)與(yu)兩個導電(dian)(dian)(dian)(dian)電(dian)(dian)(dian)(dian)容(rong)板(ban)連接。如果地震質(zhi)(zhi)量(liang)在(zai)兩個電(dian)(dian)(dian)(dian)容(rong)板(ban)之(zhi)間振蕩，電(dian)(dian)(dian)(dian)容(rong)就會(hui)發生變化。這種電(dian)(dian)(dian)(dian)容(rong)變化通過ASIC(應(ying)用特定(ding)的集成電(dian)(dian)(dian)(dian)路)轉換成模擬信號。
描述
ASC 5521和(he)ASC 5525是針對不同應用(yong)的(de)需求而(er)開發(fa)的(de)。高(gao)(gao)魯棒(bang)殼(ke)體和(he)連(lian)接(jie)電(dian)纜適用(yong)于汽車(che)、火車(che)、軍事等領(ling)域的(de)粗糙應用(yong)。這些ASC加速度計得(de)益于芯片技(ji)術(shu)的(de)高(gao)(gao)穩定(ding)性、低偏置(zhi)和(he)良好的(de)標(biao)度因子溫度系數。
asc5521和asc5525在(zai)較寬的(de)(de)溫度范(fan)圍內得到充分補償(chang)，并經過工(gong)廠校(xiao)準。由于采用(yong)電(dian)容技術，測量(liang)范(fan)圍非(fei)常小是可能的(de)(de)。放大(da)后的(de)(de)輸出易(yi)于與(yu)數據采集(ji)單(dan)元一起使用(yong)。信號獨立于+8VDC到+30VDC之(zhi)間的(de)(de)電(dian)源。一個非(fei)常高的(de)(de)靈(ling)活和堅(jian)固(gu)的(de)(de)電(dian)纜(lan)提供了(le)一個簡單(dan)的(de)(de)安裝。ASC 5521和ASC 5525標(biao)準配置6米電(dian)纜(lan)。
德國ASC傳感器總(zong)覽
1. ACCELEROMETERS (線(xian)加速度傳感器(qi)) 2. GYROS（角(jiao)速度傳感器） 3. INERTIAL MEASUREMENT UNIT （慣性測量單元）
一、線加速度傳感器（Accelerometers）
【A. MEMS電(dian)容型(Capactie ) B. MEMS壓阻型(Pizoresistie) C. 壓(ya)電型(xing)（Pizoelectric:IEPE集成了放大器和電荷電/壓(ya)轉換器】
MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)微機(ji)電系(xi)統，是在微電子技術(shu)(shu)（半導體制造技術(shu)(shu)基礎上發展起來(lai)的(de)，融合(he)了光刻、腐(fu)蝕、薄膜、LIA、硅微加(jia)工、非(fei)硅微加(jia)工和精密機械加(jia)工等技術制作的高科技電子機械器件。
系統(tong)特點：
1微型化：MEMS器件體(ti)積小、重量輕、耗能低、慣性小、諧(xie)振頻率高、響應時(shi)間短(duan)。
2以硅(gui)為主要(yao)材料(liao)，機械(xie)電器性(xing)能優(you)良：硅(gui)的強(qiang)度(du)、硬度(du)和楊氏模量(liang)與鐵(tie)相當(dang)，密度(du)類似鋁，熱(re)傳導率接近鉬和鎢。
3批(pi)量生產：用硅(gui)微加(jia)工工藝在一片(pian)硅(gui)片(pian)上(shang)可同時制(zhi)造成百上(shang)千個(ge)微型(xing)機電裝置或完(wan)整(zheng)的MEMS。批量生(sheng)產(chan)可(ke)大(da)大(da)降低(di)生(sheng)產(chan)成本(ben)。
4集(ji)成(cheng)化：可(ke)以把不同功能、不同敏感方(fang)向(xiang)或(huo)致動方(fang)向(xiang)的多個傳(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)(qi)或(huo)執行器(qi)(qi)(qi)集(ji)成(cheng)于一(yi)(yi)體，或(huo)形成(cheng)微傳(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)(qi)陣列(lie)(lie)、微執行器(qi)(qi)(qi)陣列(lie)(lie)，甚至把多種(zhong)功能的器(qi)(qi)(qi)件集(ji)成(cheng)在一(yi)(yi)起，形成(cheng)復雜的微系統。微傳(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)(qi)、微執行器(qi)(qi)(qi)和微電子器(qi)件的集成(cheng)可(ke)制造出(chu)可(ke)靠性、穩定性很高的MEMS。
5多學(xue)科交叉：MEMS涉及電子、機械、材料、制造、信息(xi)與自動(dong)控制、物理、化學(xue)和(he)生物等多種學(xue)科，并集約了(le)當今科學(xue)技術發展的許多成果
ASC 加(jia)速度計 進(jin)口加速度傳感器
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