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六軸力傳感器分類
   

       電容(rong)式則是將電容(rong)式力敏(min)傳感(gan)器的(de)(de)核心部分(fen)是對(dui)壓力敏(min)感(gan)的(de)(de)電容(rong)器。 

       力(li)敏電容(rong)器的(de)(de)電容(rong)量(liang)是由(you)電面積和兩(liang)個電間的(de)(de)距離決定的(de)(de)，當(dang)硅(gui)膜(mo)片兩(liang)邊存在壓(ya)力(li)差(cha)時，硅(gui)膜(mo)片產生形變(bian)(bian)，板間的(de)(de)間距發(fa)生變(bian)(bian)化，從(cong)而引起電容(rong)量(liang)的(de)(de)變(bian)(bian)化，電容(rong)變(bian)(bian)化量(liang)與壓(ya)力(li)差(cha)有關。 光(guang)學(xue)式(shi)多維力(li)傳(chuan)感(gan)器通過光(guang)學(xue)傳(chuan)感(gan)器來測量(liang)微(wei)小變(bian)(bian)形，從(cong)而測出(chu)多維力(li)和力(li)矩。

六軸力傳感器分類

      壓電(dian)式多維力(li)(li)(li)傳(chuan)(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)(qi)是(shi)(shi)另一(yi)種比(bi)較常用(yong)的(de)(de)(de)測力(li)(li)(li)裝置，它的(de)(de)(de)基本測力(li)(li)(li)原理是(shi)(shi)在外部(bu)應力(li)(li)(li)的(de)(de)(de)作用(yong)下(xia)壓電(dian)材料產生電(dian)荷，當(dang)外力(li)(li)(li)變化(hua)(hua)時，壓電(dian)材料表面的(de)(de)(de)電(dian)荷隨之變化(hua)(hua)帶來輸出電(dian)壓信(xin)號(hao)的(de)(de)(de)變化(hua)(hua)。    六(liu)軸力(li)(li)(li)傳(chuan)(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)(qi)分類       壓電(dian)傳(chuan)(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)主要(yao)特(te)點是(shi)(shi)其有很高(gao)的(de)(de)(de)固有頻率(lv) ( 20OkHz ) ，特(te)別適(shi)合動態測量(liang)。石英晶片的(de)(de)(de)合理布置是(shi)(shi)傳(chuan)(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)(qi)設計的(de)(de)(de)關鍵(jian)。克(ke)服傳(chuan)(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)(qi)各向載荷間的(de)(de)(de)相互(hu)干擾(rao)是(shi)(shi)提高(gao)壓電(dian)傳(chuan)(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)(qi)測量(liang)精度的(de)(de)(de)途徑。